カルレッツ®とは
カルレッツ®は、パーフロロエラストマーと分類される高分子材料です。カルレッツ®と、同じくふっ素系高分子に属するふっ素系樹脂(プラスチック)であるテフロン(PTFE:ポリテトラフルオロエチレン)、ふっ素ゴム(エラストマー)の化学構造式を示しました。ふっ素樹脂、ふっ素ゴムともに、優れた耐熱、耐薬品性をもつことで知られています。
カルレッツ®の構造は、エラストマーの特微である主鎖部:TFE(テトラフルオロエチレン)、枝分れ部:PMVE(パーフロロメチルビニルエーテル)、および架橋部から成り、完全にふっ素化され、テフロンと極めて似た構造をしています。一方、ふっ素ゴムは、主鎖部の一部に、炭素－水素結合が存在しており、この結合は、炭素－ふっ素結合より弱いために、カルレッツ®と比較して熱的、化学的特性が低くなります。
カルレッツ®の特長
カルレッツ®パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発した全く新しいエラストマー材料です。このエラストマー材料は、テフロン®ふっ素樹脂のもつ優れた耐薬品性、従来のふっ素ゴムを上回る耐熱性を有し、さらにゴムのもつ弾力性を兼ね備えた画期的な製品で、世界でデュポン ダウエラストマー社だけが製造･販売しています。
その耐薬品性は、従来のふっ素ゴムでは使用が難しかったエーテル類、アミン類、ケトン類、酸化剤、有機溶剤、燃料、酸、アルカリなど、ほとんどの薬品に対して安定性を示し、耐熱性(JIS K6301などの圧縮永久ひずみ試験の結果に基づく)においては、300℃近くの高温においてもゴムとしての物性を比較的保ちます。このため、例えばカルレッツ®部品を半導体製造装置用シール材に用いた場合では、「シールの長寿命化」、「半導体製品の歩留り向上」、「メンテナンスコストの減少」、「より低いコンタミネーション」等が期待できます。
エラストマーとは
エラストマーとは、伸び率が100%以上の弾性体で、外力を与えると容易に変化しますが、覗くと直ちに原形にほぼ回復するような弾性の顕著な高分子に分類されるプラスチックの化学構造模式図を示しました。エラストマーとプラスチックはともに、炭素ー炭素結合を繰り返しの最小単位とする長い高分子鎖（主鎖）で構成されています。プラスチックがお互いの高分子鎖同士の結合をもたないのに対して、エラストマーは架橋部によって高分子鎖同士が化学結合で結ばれており、この架橋部と高分子鎖についている枝分れ部によって、エラストマー性（弾性）という特性を示します。また、この架橋構造をもつことで、熱、圧力に対して安定となります。
カルレッツ®のラインアップ
| 0040 | 硬度（ショアA） | 70 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | -42～220 | |
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| 低温アプリケーション用途。 | ||
| 1050LF | 硬度（ショアA） | 82 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 288 | |
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| アミン類に対して適切な材質で、一般的な耐薬品性に優れている。200℃以上の熱水/水蒸気の雰囲気には注意。 | ||
| 6005 | 硬度（ショアA） | 69 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 275 | |
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| 酸素単体、酸素＋フッ素混合のラジカルプラズマ下でのクラック耐性に優れたエッチャー/アッシャーに最適な材質。 | ||
| 6230 | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 260 | |
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| 医療・食品製造プロセス向け標準配合。 | ||
| 6375 | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 275 | |
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| アミン類に対して最適の材質で、幅広い腐食性流体に対して耐薬品性が優れた材質。抽出物が非常に少なく、ウェット用途に適している。 | ||
| 6380 | 硬度（ショアA） | 80 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 225 | |
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| 黒色ではなく、耐薬品性に優れた材質。 | ||
| 6885 | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 270 | |
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| 特にエーテル類･エステル類･ケトン類およびアルコール類に優れた耐薬品性。ペイント業界向けグレード。 | ||
| 7090 | 硬度（ショアA） | 90 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 325 | |
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| 高硬度/モジュラス、良好な圧縮永久歪特性をもつ、高耐熱材質。 | ||
| 8085 | 硬度（ショアA） | 82 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 240 | |
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| HDPCVD、PECVDのアプリケーション用に開発されたカルレッツ®材質。特にNF3プラズマの環境下でのパーティクルを低減できる材質。機械特性に優れているため、スリットバルブ、ゲートバルブなどにも最適。 | ||
| 8575 | 硬度（ショアA） | 62** |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 300 | |
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| 耐プラズマ性に優れており、白色のカルレッツ®材質の中でプラズマエッチングなどに最も実績がある。 | ||
| 9100 | 硬度（ショアA） | 68 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 300 | |
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| フッ素系・酸素系プラズマ両者の耐プラズマ性能を保有し、非常に優れた低パーティクル・放出ガス特性を持っている。固定部・稼働部にかかわらず、優れた機械特性とシール性能を示す。 | ||
| 9500 | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 310 | |
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| SACVD、アッシングプロセスガス（オゾン、アンモニア、水蒸気）に対し、非常に優れた耐性を示す。 | ||
| 0090 | 硬度（ショアA） | 95 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 250 | |
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| 石油/ガス産業での急激なガス爆発的減圧サービス向けの高硬度カルレッツ®。 | ||
| 4079 | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 316 | |
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| 強酸、有機酸を含む一般耐薬品性に優れたカルレッツ®の標準材質。高温使用時における圧縮永久歪が最も優れる。アミン類には要注意。熱サイクルでの使用は280℃以下が望ましい。 | ||
| 6190 | 硬度（ショアA） | 73 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 300 | |
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| 成形性に優れた材質。大量生産対応やカスタム形状向けグレード。 | ||
| 6236 | 硬度（ショアA） | 90 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 250 | |
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| 食品・医薬品業界向け。サニタリーガスケット用配合。USP及びJP対応。 | ||
| 6375UP | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 275 | |
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| アミン類に対して最適の材質。幅広い腐食性流体に対して耐薬品性が優れた材質。抽出物が非常に少なく、ウェット用途に適している。 | ||
| 6880 | 硬度（ショアA） | 70 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 250 | |
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| 特にエーテル類･エステル類･ケトン類およびアルコール類に優れた耐薬品性。ペイント業界向けグレード。 | ||
| 7075 | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 327 | |
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| 最高の耐熱目安と、低温域での優れた圧縮永久歪特性を兼ね備えた、画期的な材質。 | ||
| 8002 | 硬度（ショアA） | 69* |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 275 | |
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| 充填材を一切含まず、プラズマ照射時にパーティクルの発生がほとんどない材質。あらゆる種類のプラズマに対して、耐プラズマ性および、耐熱性に優れた材質。 | ||
| 8475 | 硬度（ショアA） | 60** |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 300 | |
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| 耐熱性、低放出ガス特性に優れた材質。拡散炉、LD-CVDなどの耐熱用途に実績がある。 | ||
| 8900 | 硬度（ショアA） | 83 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 325 | |
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| 耐熱性、低放出ガス特性に優れた黒のカルレッツ®材質。高温プロセスでのシール性、機械特性も優れている。 | ||
| 9300 | 硬度（ショアA） | 74 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 300 | |
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| 酸素/フッ素プラズマ及びエッチングプロセスに対し非常に優れた耐性を示す。 | ||
| LS205 | 硬度（ショアA） | 75 |
|---|---|---|
| 耐熱目安（℃） | 225 | |
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| 医療・食品製造プロセス向け白色新配合。 | ||
*JIS6253のスラブによるテストJIS
**ASTM D2240ペレットによるテスト
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PDFカタログ：カルレッツ®